Профессор Владимир Романенко

rus eng

Термодинамический анализ газотранспортного процесса в системе Si-J для случая роста плёнок по открытой схеме.

Термодинамический анализ газотранспортного процесса в системе Si-J для случая роста плёнок по открытой схеме. Термодинамический анализ газотранспортного процесса в системе Si-J для случая роста плёнок по открытой схеме.
Термодинамический анализ газотранспортного процесса в системе Si-J для случая роста плёнок по открытой схеме.
(1971)

С.А.Василевский

печатн. МЭП СССР,научно-технический сборник,"Электронная техника",серия 12, вып.4(10).4 тематический выпуск "Физико-химические методы контроля в электронике",Изд. ЦНИИ "Электроника".М.,1971 г. ,с. 41-45