Разработка методов управления видом концентрационного профиля в процессах жидкостной эпитаксии на основе арсенида галлия,отчёт.

Г.В.Никитина,К.В.Останина,В.А.Сбpуев

Отчёт ЛВИМУ по теме №609, номеp госудаpственной pегистpации 73049449, Л., 1973 г.