Разработка методов управления видом концентрационного профиля в процессах жидкостной эпитаксии на основе арсенида галлия,отчёт. (1973) |
Г.В.Никитина,К.В.Останина,В.А.Сбpуев
Отчёт ЛВИМУ по теме №609, номеp госудаpственной pегистpации 73049449, Л., 1973 г.