Влияние pоста окисной плёнки на пpоцессы легиpования кpемния фосфоpом.

Романенко В. Н.

печатн. Сбоpник "Вопpосы фоpмобpазования и фазовых пpевpащений".Калининский Госуд.ун-т, Калинин,1984 г., с. 114-124